參    數

顯 示 范(fan) 圍

Ra,Rq

0.005μm  ~  64μm

Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm

0.02μm  ~ 640μm

Sk

0  ~  99%

S,Sm

0.02~1000μm

Rmr(tp)

0 ~ 99%

丈量

規模

Z軸(垂直)

640μm (-320μm~+320μm) / 25200μin (-12600μin~+12600μin)

X軸(程度(du))

17.5mm（0.69 inch）

分辯率

Z軸

（垂(chui)直）

0.002μm/±20μm

0.004μm/±40μm

0.008μm/±80μm

0.020μm/±160μm

0.040μm/±320μm

丈量(liang)

名目(mu)

參數(shu)

Ra  Rz  Rq  Rt  Rc  Rp  Rv  R3z  R3y  Rz(JIS)  Ry  Rs  Rsk  Rku  Rmax  Rsm   Rmr（Tp）  RPc  Rk  Rpk  Rvk  Mr1  Mr2

規范

ISO4287國際(ji)規(gui)范；ANSI B46.1美國規范；

DIN4768德(de)國規范；JIS B601日本規范

圖形(xing)

支(zhi)承率曲(qu)線，粗(cu)拙(zhuo)度 原始表(biao)面，濾波波形

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(du)(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評(ping)定長(chang)度（ln）

Ln= lr×n    n=1~5

傳(chuan)感器

丈量(liang)道理(li)

位(wei)移(yi)式(shi)差動電感(gan)

觸針

自然金剛(gang)石，90錐角，5μm針尖半(ban)徑

測力

觸針測力：4mN；導頭測力：<400mN

導頭

硬質合(he)金，滑行標(biao)的(de)目的(de)半徑40mm

滑行(xing)速率

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s    lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,   Vt=1mm/s        前往      Vt=1mm/s

示(shi)值精度

0.001μm

示值偏差(cha)

±(5nm+0.1A)         ;A:多(duo)刻線榜樣參(can)數Ra的規范值

示值反復性（變化(hua)性）

不大于3%

剩(sheng)余(yu)表(biao)面(mian)

不大(da)于0.010μm

電(dian)(dian)源及充電(dian)(dian)電(dian)(dian)壓

3600mAh鋰離子電池，

主機形狀(zhuang)尺(chi)寸

155×145×58mm

驅動器形(xing)狀尺寸(cun)

23×27×115mm

支(zhi)架可(ke)調高度

40mm

分(fen)量

約1000g

任務情況

溫度：- 20℃ ~  40℃     濕度：< 90% RH

貯存運輸情況

溫度：- 40℃  ~   60℃   濕度：< 90% RH

可選配件

磁性表座、表座毗(pi)連(lian)塊(kuai)(kuai)、高度尺(chi)、高度尺(chi)毗(pi)連(lian)塊(kuai)(kuai)，曲面傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)、小孔傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)、深槽傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)、極小孔傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)、耽(dan)誤(wu)桿(gan)、轉接桿(gan)、微(wei)型(xing)打印機(ji)、200mm丈量平臺、300mm大(da)理石(shi)丈量平臺，數傳處置軟件，手機APP